走進深圳會展中心，一場半導(dǎo)體行業(yè)的盛宴正在這里上演。60000平方米的展區(qū)內(nèi)，新凱來等國內(nèi)龍頭企業(yè)帶來的光刻機技術(shù)突破，彰顯著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃生機——而在這每一個突破背后，都離不開精密加工的堅實支撐。

在2025深圳灣芯展的現(xiàn)場，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備“國家隊”新凱來展示了其DUV光刻機原型機及“名山”系列全鏈條設(shè)備，標志著中國在突破半導(dǎo)體關(guān)鍵制造工藝方面取得的實質(zhì)性進展。

這些高精尖設(shè)備的內(nèi)部，承載著無數(shù)精密加工的零部件——從光刻機的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，到刻蝕機的工作腔室，再到探針卡的微細針座。半導(dǎo)體裝備的每一次突破，既源于設(shè)計理念的創(chuàng)新，也依賴于精密制造工藝的堅實支撐。

01 灣芯盛況：半導(dǎo)體自主化的黎明時刻

本屆灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會規(guī)模空前，展覽面積超過60000平方米，匯聚了600余家國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)企業(yè)。

從晶圓制造、先進封測到IC設(shè)計、化合物半導(dǎo)體，展會完整呈現(xiàn)了半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的生態(tài)布局與發(fā)展態(tài)勢。

展會期間，新凱來公司展出的DUV光刻機原型機及SAQP工藝尤為引人注目，該技術(shù)路線劍指5nm制程，計劃于2026年實現(xiàn)量產(chǎn)。

同時，其“武夷山”刻蝕設(shè)備、“阿里山”原子層沉積設(shè)備等產(chǎn)品系列，展現(xiàn)了中國企業(yè)在半導(dǎo)體全鏈條設(shè)備領(lǐng)域的突破能力。

半導(dǎo)體設(shè)備作為高端制造裝備，對其零部件的精度、穩(wěn)定性和潔凈度有著近乎苛刻的要求。這正是精密機加工技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域價值的最佳體現(xiàn)。

02 精密加工：半導(dǎo)體設(shè)備的制造基石

半導(dǎo)體設(shè)備CNC機加工是高端芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的一環(huán)。半導(dǎo)體設(shè)備運行在極端條件下——超高真空、超高溫、強腐蝕、等離子體環(huán)境。

這要求其零部件必須具備微米級甚至亞微米級的加工精度、優(yōu)異的表面光滑度和材料穩(wěn)定性。

以晶圓制造關(guān)鍵設(shè)備——如刻蝕機和薄膜沉積設(shè)備——為例，它們的腔室、氣體分配盤和靜電卡盤等晶圓設(shè)備零件CNC機加工要求極為嚴格。

這些部件通常需要由高純度鋁、不銹鋼或特種工程塑料制成，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對密封面、孔位、流道的光潔度和精度要求極高。

探針卡CNC機加工同樣代表了精密制造的高難度領(lǐng)域。作為晶圓測試的核心部件，探針卡上有成千上萬個微米級的孔位，用于容納探針并與芯片焊盤接觸。

這些高密度孔的加工質(zhì)量直接關(guān)系到測試的準確性和可靠性，必須通過超精密CNC技術(shù)保證其位置精度和尺寸一致性。

03 一鑫精密：半導(dǎo)體制造的隱形助力者

一鑫精密作為專業(yè)的精密機加工企業(yè)，深耕半導(dǎo)體設(shè)備零部件制造領(lǐng)域，始終致力于為半導(dǎo)體設(shè)備廠商提供高精度、高可靠性的定制化零部件解決方案。

我們深刻理解半導(dǎo)體設(shè)備對零部件的苛刻要求，并已建立起相應(yīng)的技術(shù)能力。

在半導(dǎo)體設(shè)備CNC機加工方面，一鑫精密擁有多臺五軸聯(lián)動CNC加工中心，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜曲面、深孔、異形流道的一次性成型加工，保證了零件的整體性和精度穩(wěn)定性。

針對晶圓設(shè)備零件CNC機加工，我們熟悉高純度鋁合金、不銹鋼等材料的特性，通過優(yōu)化刀具路徑、切削參數(shù)和冷卻方式，實現(xiàn)零件的高效精密加工。

我們的質(zhì)量檢測體系配備了三坐標測量機、光學(xué)投影儀等精密檢測設(shè)備，確保每一個交付的零件都符合圖紙要求。

在探針卡CNC機加工領(lǐng)域，我們掌握了微小孔加工、高表面光潔度處理等關(guān)鍵技術(shù)，能夠加工探針卡所需的各類精密結(jié)構(gòu)件和定位零件。

這些部件對位置精度和尺寸一致性要求極高，是我們技術(shù)能力的集中體現(xiàn)。

04 協(xié)同突破：與中國半導(dǎo)體共成長

中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處在國產(chǎn)替代的關(guān)鍵時期。新凱來、北方華創(chuàng)等國內(nèi)設(shè)備企業(yè)的快速崛起，為本土精密制造企業(yè)帶來了歷史性機遇。

一鑫精密愿與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)攜手合作，共同攻克關(guān)鍵零部件制造的技術(shù)難題。

我們相信，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主化不僅僅體現(xiàn)在設(shè)備整機設(shè)計上，更依賴于整個供應(yīng)鏈的協(xié)同發(fā)展。

從設(shè)備到零部件，從材料到工藝，只有全產(chǎn)業(yè)鏈的緊密配合，才能構(gòu)建起真正自主可控的中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)體系。

面對半導(dǎo)體技術(shù)不斷向前發(fā)展的趨勢，一鑫精密將持續(xù)投入先進加工設(shè)備，提升工藝技術(shù)水平和質(zhì)量管理能力。

我們立志成為中國半導(dǎo)體設(shè)備可信賴的合作伙伴，以精工之技，筑芯時代長城。

——從概念設(shè)計到實物制造，從系統(tǒng)整合到零部件精工，這種協(xié)同正是中國半導(dǎo)體突圍的關(guān)鍵力量。